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真空：泛指低于一个大气压的气体状态

特点：

1、真空吸盘容器受大气压的作用，压力大小决定于容器内外的压力差；

2、真空状态下，气体稀薄，单位体积分子数少，分子之间或与其他质点（如电子、离子）以及器壁的碰撞次数少。

真空科学与技术的分支学科

真空技术：真空获得、测量、检漏、真空系统及元件

真空冶炼：铸造、热处理、焊接、单晶体制备

等离子体科学与技术：磁控溅射、离子镀、CVD、等离子体显示器

薄膜科学与技术：蒸发镀、离子镀、CVD、溅射镀膜

电子材料加工工艺：电子器件、半导体器件、光电材料、外延、掩膜和刻蚀

表面科学：固体表面电子结构、原子结构，隧道显微镜，表面性能测试

应用表面科学：紫外光电子能谱、x光电子能谱等表面分析仪器

纳米科学与技术：材料制备、性能测试与分析、应用

真空度的单位及真空区域的划分

真空度

是对气体稀薄程度的一种客观量度，直接的物理量应该是每单位体积中的分子数，由于历史原因，真空度的高

低通常用气体压强表示，气压低，真空度高，反之，真空度低。



气体压力：气体作用于单位面积器壁的压力。单位： 达因/厘米2和牛顿/米2。帕


 

真空度测量：

早期采用Hg柱高度测量压强，1大气压=760mmHg后来发现Hg有7种同位素，密度不同，这样同一汞柱表示出

来的压强不唯一。第10届国际计量大会决定改用帕来定义标准大气压，规定：1标准大气压（atm）=1.013×10 5 Pa ，大气压的1/760称为1托（Torr），1托几乎等于1mmHg，

1Torr=1/760Pa=133.33Pa；

1mbar=100Pa=0.75mmHg

1PSI=6895Pa=68.95mbar=51.715mmHg

真空区域的划分：

真空区域的划分没有统一标准，国内划分也不统一，一般分

为5个区域：

粗真空760~10Torr

低真空10~10-3 Torr

高真空10-3 ~10 -8 Torr

超高真空10-8 ~10 -12Torr

真空技术的应用

广泛应用于工业生产、科学研究的各个领域。

例如：压力差制成真空吸盘、真空送料；电子管、离子加速器（碰撞少）；冶金工业：真空冶炼、脱气、精炼、热处理、稀有金属、半导体材料制备；食品工业，真空保鲜、包装、冷冻干燥；活性物质防氧化（延长寿命，灯泡）；表面物理学（洁净表面进行充分实验研究）